IS-350 高性能超音波掃描式顯微鏡

超音波掃描式顯微鏡

IS-350 高性能超音波掃描式顯微鏡

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最新設計低噪音線性伺服馬達驅動系統1000mm/sec的高速掃描
Encode
解析度為0.5μm
可選擇3軸,4軸或5軸系統
有效掃描範圍:
350mmx350mm12”晶圓檢測或同時放置2 JEDEC的標準托盤)
儀器尺寸:680(寬)x800(深)x1320(高)mm

 

IS-350雙探頭設計

 

 

 

雙探頭可同時收集檢測數據,提升效率和產能。
可搭配不同頻率探頭,提高應用靈活性。
可搭配不同焦點的探頭,提高產品對應能力。
2個焦點測量軸可同步檢測也可分離獨立檢測,提高設備榢動率。

脈衝反射掃描和穿透掃描可同步使用,符合產品特性。