Ontos TT
電漿清潔 / 表面活化系統
產品特色與規格
Ontos TT為桌上型機種,佔地空間小
2種機型可供選擇,可應用於不同樣品尺寸200mm 與 300mm
具備感應式門鎖; 臭氧排氣包含空氣冷卻,使用安全
射頻控制器設置於電漿頭的正後方,以確保電漿的穩定性
固定式等離子頭,配備局部基板冷卻系統,可使用更高的射頻功率,應用廣泛
標準電漿頭寬度為25mm或40mm (100mm開發中)
產品特色與規格
Ontos TT為桌上型機種,佔地空間小
2種機型可供選擇,可應用於不同樣品尺寸200mm 與 300mm
具備感應式門鎖; 臭氧排氣包含空氣冷卻,使用安全
射頻控制器設置於電漿頭的正後方,以確保電漿的穩定性
固定式等離子頭,配備局部基板冷卻系統,可使用更高的射頻功率,應用廣泛
標準電漿頭寬度為25mm或40mm (100mm開發中)